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無塵室的等級分類及應用標準

文章出處:深圳市興業卓輝實業有限公司 人氣:-發表時間:2020-09-11 11:36:00
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無塵室的等級說明 


依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。


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無塵室等級標準 


據查詢無塵室等級標準的版本較多,于是小編就整理兩個較常用的劃分標準,分別是國際標準 IOS14644-1、中國標準 GB/T16292-1996,具體詳情請看下表:


空氣潔凈度分級標準:IOS14644-1(國際標準)


空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

ISO Class 1

10

2





ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1000

237

102

35

8

ISO Class 4

10000

2370

1020

352

83

ISO Class 5

100000

23700

10200

3520

832

29

ISO Class 6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISO Class 7




352000

83200

2930

ISO Class 8




3520000

832000

29300

ISO Class 9




35200000

8320000

293000

注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平


空氣潔凈度分級標準:GB/T16292-1996(中國標準)


粒徑、數值潔凈度級別

塵埃最大允許數/立方米

微生物最大允許數

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100級

3500

0

5

1

10000級

350000

2000

100

3

100000級

3500000

20000

500

10

300000級

10500000

60000

-

15



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無塵室標準分類 

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亂流式(Turbulent Flow):


空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。


優點:構造簡單、系統建造成本低,無塵室擴充比較容易,在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。


缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達要求的潔凈度,需耗時相當長一段時間。


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層流式(Laminar):


層流式空氣氣流運動成均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需求較高的環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。


其型式可分為二種:

?無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般下流側污染較嚴重。


優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變穩定。


缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。


?無塵車間垂直層流式:房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔凈度,在生產中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫绊懫渌ぷ鲄^域。


優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易受作業狀態或作業人員所影響。

  

缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。


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復合式(Mixed Type):


復合式是將亂流式及層流式予以復合并用,可提供局部超潔凈空氣。


  • 無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,超大規模集成電路生產大都采用此種型式。

    潔凈隧道另有二項優點:彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。


  • 無塵車間潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量的送風即可得到良好的潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。


  • 無塵車間并裝局部無塵室(Clean Spot):將亂流無塵室內的產品生產區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,為生產用。  


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無塵室的應用標準 
若想檢驗無塵室是否達到應用標準,大家可以先從遮蔽率;風速、溫濕度;壓差、構成要求這四個方面考慮:


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遮蔽率


無塵等級

Air Change(次/hr)

HEPA遮蔽率

Class 100

240-480

50%-100%

Class 1000

17-240

10%-35%

Class 10000

10

8%-10%

Air Change:FFU的表面積*風速*FFU數量/無塵室體積

HEPA遮蔽率:FFU的表面積*FFU數量/無塵室面積


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風速、溫濕度


氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)

一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃

一般濕度控制范圍:(45±5)%RH


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壓差


在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa,而在無塵室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時,維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。


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構成要求


A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕

B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子

C.吸濕性小

D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高

文字內容來源于:模切易得通


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